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基于CMOS工艺设计MEMS传感器研发及产业化


浙江海洋大学海天智能物联网实验室与深圳市磐十电子有限公司共同合作,提出以CMOS工艺为基础来开发设计MEMS传感器与致动器,成为单体芯片的方案。在MEMS麦克风端设计了单端阵列麦克风以及差动电容麦克风,并且在感测电路芯片取得技术性突破,解决了提升信噪比及高耐压的问题。提升了产品的性价比,让产品有了更好的性能和更高效的封装制造。

团队成员:陈宏铭院士,王传蔚博士,管向洋,王茜,苏杭


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